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多功能集成測量附件
用于板材、塊材及基板上的膜的分析，并可對其進行晶相檢出、取向、織構、應力、薄膜面內結構等測試。
功能特點
采用透射法或反射法進行極圖測試；
可以采用并傾法或者同傾法進行應力測試；
薄膜測試（樣品的面內旋轉）
應用領域
輥軋板等金屬集合組織的評價；
陶瓷取向的評價；
薄膜樣品晶體優先方位的評價；
各種金屬材料、陶瓷材料的殘余應力測試（耐磨耗性、耐切削性等的評價）；
多層膜的殘余應力測試（膜的剝落等的評價）；
高溫超導材料薄膜、金屬板等表面氧化、氮化膜的分析；
玻璃、Si、金屬基板上的多層膜的分析（磁性薄膜、金屬表面硬化皮膜等）；
大分子材料、紙、鏡片等電鍍材料的分析。
技術規格
α軸（傾斜）最小步距： 0.001°/步, 動態范圍：-45°-90°
β軸（自轉） 最小步距： 0.001°/步,動態范圍：0°-360°
z軸最小步距: 0.001°/步, 動態范圍：0-10mm
樣品尺寸: 最大Φ100mm，厚度可調
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